臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)的應(yīng)用范圍非常廣泛，如半導(dǎo)體芯片、LED芯片、MEMS元件、薄膜太陽(yáng)能電池等微型器件。在這些器件的制造過(guò)程中，往往需要對(duì)表面進(jìn)行清潔、去除雜質(zhì)等處理，以保證器件性能和可靠性。等離子清洗機(jī)適用于對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、高分子材料等物體表面進(jìn)行360度清潔和表面改性處理，提高濕潤(rùn)性提升工件粘接、涂層、印刷、去膠的可靠性。
臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)構(gòu)成：
1、真空系統(tǒng)：主要用于腔體內(nèi)部抽真空以及破空處理；
2、等離子發(fā)生系統(tǒng)：用于放電產(chǎn)生等離子體的核心；
3、腔體系統(tǒng)：放置產(chǎn)品的主要部位，由電極板和放置區(qū)組成；
4、控制系統(tǒng)：PLC控制系統(tǒng)或PC控制系統(tǒng)，整個(gè)設(shè)備自動(dòng)化進(jìn)行工作；
5、冷卻系統(tǒng)：有些產(chǎn)品處理溫度較低，需要對(duì)腔體內(nèi)部進(jìn)行降溫，這時(shí)候就要加裝冷卻系統(tǒng)；
臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
1)清洗對(duì)象經(jīng)等離子處理后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序；可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率；
2)采用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體的特點(diǎn)是方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成常規(guī)清洗不能達(dá)到的清洗任務(wù)，能很好處理難清洗部位。
3)等離子技術(shù)，不需要對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生，體現(xiàn)設(shè)備高度環(huán)保性
4)安全性能強(qiáng)，等離子清洗技術(shù)避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法，使得用戶(hù)可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題
5)在真空等離子清洗技術(shù)還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。
6)真空等離子清洗技術(shù)不分處理對(duì)象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物)都可以使用等離子體來(lái)處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。
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